著重高技術研究的技術科學方面的國傢級綜合性研究機構。簡稱中科院上海微系統所。前身為成立於1928年7月的國立中央研究院工程研究所，所址在上海。1949年後隸屬於中國科學院，曾名中國科學院工學實驗館（1949）、中國科學院冶金陶瓷研究所(1953)、中國科學院冶金研究所(1960）、中國科學院上海冶金研究所(1970)。1958年年後分出組建中國科學院長沙礦冶研究院(1958)、中國科學院昆明貴金屬所(1959)、中國科學院矽酸鹽化學與工學研究所(1959)。2001年8月改現名。歷任所長周仁(1928～1973)、鄒元爔(1978～1982)、鄒世昌(1983～1997)、江綿恒(1997～ 2002)、封松林(2002～ )。2006年有中國科學院和中國工程院院士3名，擁有傳感技術聯合國傢重點實驗室、微系統技術國傢級重點實驗室、信息功能材料國傢重點實驗室、能源科學與技術實驗室、納米技術研究室、微系統信息網研發中心，以及上海微小衛星工程中心，上海無線通信研究中心、中科院嘉興中心微系統所分中心3個與地方共建單位。截至2005年底，獲得國傢級獎勵50餘項、省部級獎勵330餘項。20世紀50年代在國內率先研制成功球墨鑄鐵，並成功解決瞭包頭高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收問題。60年代研制成功用於濃縮鈾235的關鍵部件“甲種分離膜”。以後，在中國率先建立超純金屬和Ⅲ–Ⅴ族化合物半導體材料研究基地；與工業部門合作研制出中國第一塊工業實用PN結隔離集成電路、ECL高速電路，中國第一塊8位、16位微處理器等微電子器件。90年代以來，圍繞“電子科學與技術”、“信息與通信工程”兩大學科方向，開展低軌通信小衛星及星座系統、集成微光機電系統、無線信息系統、半導體微結構材料和器件、太赫茲物理與器件、納米電子材料與器件、SOI材料與器件、新型高效微能源系統等的研究和開發。刊物有《功能材料與器件學報》。