甲基矽烷上與矽相連的氫被氯取代的一類產品，其中有工業意義的為二甲基二氯矽烷〔(CH3)2SiCl2〕、甲基三氯矽烷(CH3SiCl3)、甲基二氯矽烷(CH3SiHCl2)和三甲基氯矽烷〔(CH3)3SiCl〕。主要由一氯甲烷制得（見甲烷氯化物）。常溫下均為無色、透明液體，沸點分別為70.0℃、66.4℃、41.0℃和57.9℃，能燃燒，易水解。是合成矽油、矽橡膠和有機矽樹脂的原料。
甲基氯矽烷的生產方法有間接法和直接法兩種。現在工業上均采用直接法，它由美國E.G.羅喬於1940年所發明，生產上以銅或銅鹽為催化劑，在300℃左右使一氯甲烷與矽粉直接反應。這是一個復雜的非均相反應。反應所得混合物主要含二甲基二氯矽烷（約70％），其次是甲基三氯矽烷，還有三甲基氯矽烷、甲基二氯矽烷等。產物通過精餾可得純品。由於反應放熱，溫度控制極為重要，現大多數采用流化床反應器。