六氟化硫

　　SF₆　無色、無臭、無毒的氣體。不燃燒，具有良好的化學穩定性和電性能，作為絕緣體廣泛用於電氣、電子設備(如斷路器、電容器、變壓器等)中。1902年，在氟氣中燃燒硫，得到瞭六氟化硫。1937年發現其介電性能遠高於空氣，不久被用於不同電氣設備中。美國聯合化學公司自1948年開始進行工業生產。

　　80年代，工業生產六氟化硫的工藝流程主要包括下述三部分：①電電解制氟：在電解槽中，在氟化鉀的存在下電解氟化氫，制得元素氟（氣態）。②合成精制：制得的氟氣通過裝有熔融硫磺的反應器，氟與硫反應生成六氟化硫。由於反應過程中生成少量其他有毒的低氟化合物（如 S₂F₁₀、S₂F₁₀O等），反應生成的產品需經水洗、堿洗、高溫裂解等一系列精制處理，以除去上述副產物。③冷凍灌裝：在一定壓力下，將氣態六氟化硫冷凍成液態，裝入鋼瓶。在此過程中，還將進一步精制產品（去除空氣、水分等雜質），以獲得純度更高、符合使用要求的產品。