利用觸發極上所加的控制脈衝引燃真空間隙中金屬蒸氣電弧的三電極電子開關器件。它具有隔離高壓和快速傳導大電流的能力，用以進行過壓保護和快速變換大電流。
真空觸發間隙由真空密封外殼、陽極、陰極和觸發極等構成（見圖）。陽極與陰極間的真空間隙，稱作主間隙，觸發極與陰極間填充介質的間隙，稱作觸發間隙。當真空觸發間隙處於隔離高壓工作狀態時，如果在觸發極上施加一個適當的脈衝，觸發間隙就產生沿介質表面的閃光擊穿，導致電流放電，於是在觸發間間隙中產生高密度金屬蒸氣等離子體，並迅速註入高壓主間隙，建立起輝光放電。隨著主間隙電極釋放出金屬蒸氣，電流急劇增長，當陰極表面形成陰極輝點時，輝光放電轉變成弧光放電，主間隙被真空電弧跨接（即真空觸發間隙導通）。主放電結束，真空電弧就熄滅，真空觸發間隙恢復到起始隔離高壓狀態。
真空觸發間隙分為真空引燃型(圖a)和氫氣引燃型（圖b）兩種。它們的區別在於：真空引燃型結構中主間隙的真空電弧，由其觸發間隙電極中產生的金屬蒸氣來引燃；而氫氣引燃型結構中主間隙的真空電弧，由其觸發間隙電極中釋放出所吸收的氫氣來引燃。
真空觸發間隙具有工作電壓范圍寬、工作電流范圍寬、導通時間短、恢復速率快、點燃可靠、放電穩定和抗輻照性能好等優點。在高壓脈沖裝置、快速大電流變換裝置、納秒發生器和核聚變試驗裝置中，真空觸發間隙可用作過壓和快速電子撬桿保護器件、迅速形成脈沖開關、快速變換大電流開關和精確開關等。