利用真空間隙耐壓高和真空電弧傳導大電流特性完成通斷功能的器件。
真空開關器件出現於20世紀50年代。其基本結構是一個裝有動電極、定電極和電弧遮罩罩的高真空滅弧室。動電極包括動觸頭和動跑弧面兩部分，定電極包括定觸頭和定跑弧面兩部分，通常將兩電極結構設計成具有徑向磁吹特性。動電極借助金屬波紋管與外部動導電桿相連，在交流電流導通期，在真空密封條件下可以任意操縱動、定電極的開合動作，以達到通斷交流電路的目的。電極周圍裝有電弧遮罩蔽罩，用來凝集燃弧區中擴散出來的金屬蒸氣，以防管壁絕緣遭到破壞。真空間斷器的結構見圖。當真空間斷器的兩電極端面（觸頭）閉合在一起時，可傳導正常的交流電流。當電路中出現故障電流時，動導電桿就將動電極拉離定電極，此時在電極表面局部受熱的斑點中蒸發出金屬蒸氣，起燃真空電弧，隨之進入大電流導通期，器件內真空電弧發展到大電流電弧期，電弧頭部在電極表面跑弧面內移動；電弧則在兩電極所拉離的間距中發展。交流電流達零值時，電極表面上受熱斑點熄滅，真空電弧隨即熄滅。殘餘金屬蒸氣和等離子體很快在電弧屏蔽罩和電極上冷凝和復合，真空間斷器處於真空隔離狀態，電路遂被切斷。
真空開關器件包括真空間斷器、真空接觸器、真空擊穿器和真空負荷開關等。這類開關器件均有動作行程短、封閉電弧、通斷性能好、維修率低、壽命長、體積小和重量輕等優點。真空開關器件在真空開關裝置、高壓傳輸裝置、配電裝置、裝甲控制裝置和馬達起動裝置中有較廣泛應用。